微空心阴极放电是一种新颖的、非平衡、高气压辉光放电。大气压辉光放电等离子体技术应用前景非常广泛。钢表面纳米、亚微米尺度薄膜。元素深度分布的定量测定。辉光放电原子发射光谱法。本文叙述了辉光放电等离子体源的等离子体源离子注入。本文介绍了本实验室研制的瞬短脉冲辉光放电飞行时间质谱仪。本文讨论磁场中中等低气压弧光放电与辉光放电的正柱理论。本文介绍近年发展的辉光放电质谱计的原理、结构、特性及其应用。研究了在热阴极辉光放电等离子体化学气相沉积金刚石膜过程中，热阴极辉光放电特性与金刚石膜沉积工艺的关系。在此基础上，根据大气压下有利于均匀辉光放电的放电条件，最终推算出有利于均匀辉光放电的最小电源频率。这些不同的辉光放电的鞘是低得多。 