综述了国内外生物质资源的超声波加工技术及其应用情况。超声波加工、电子束加工、等离子体加工和激光加工都是属于特种加工。通过对玻璃进行超声波加工，研究了硬度、金属组织对超声波加工工具材料磨损影响的规律。通过对玻璃进行超声波加工试验，进一步验证了该模型的正确性。本文只谈球面等角螺线槽的加工工艺问题。包括对机械加工和超声波加工的分析；但传统的超声加工属工具“拷贝”式加工，一般用于硬脆材料上孔的加工，而如何实现二维、三维的数控展成超声波加工是本课题的主要内容。在使用超声波的加工过程中可以节约一定的时间、能量和化学品。本文以超声波振动切削为例介绍了超声波振动加工中自动调谐技术的实现方法。阐述了全新的超声波平行轴硬珩齿加工工艺，并对其机理进行了探讨，为超声波珩齿加工工艺的开发提供了理论依据。该模型可用于仿真实验研究及预测超声波铣削加工中的材料去除率。 